技術(shù)編號(hào)：41873444
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有馬達(dá)部分和減速器部分的致動(dòng)器，還涉及一種具有該致動(dòng)器的工件搬運(yùn)機(jī)器人。背景技術(shù)、在搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓等基板的搬運(yùn)裝置中，主要搭載有具有水平多關(guān)節(jié)臂的清潔搬運(yùn)機(jī)器人，用于在收納基板的容器與處理裝置之間搬運(yùn)基板。圖是表示現(xiàn)有清潔搬運(yùn)機(jī)器人結(jié)構(gòu)的剖視圖。該搬運(yùn)機(jī)器人所具有的水平多關(guān)節(jié)臂構(gòu)成為，上下兩段的臂a、b與指狀物c相互以自由旋轉(zhuǎn)的方式連接，各臂a、b以及指狀物c分別由單獨(dú)的致動(dòng)器d驅(qū)動(dòng)。作為這樣的清潔搬運(yùn)機(jī)器人，專利文獻(xiàn)所示的技術(shù)是已知的。、在機(jī)器人關(guān)節(jié)的致動(dòng)器的馬達(dá)部分中...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。