本公開涉及微機電系統(tǒng)mems領域，更具體地，涉及mems單元以及包括該mems單元的電容式壓力傳感器。
背景技術：
1、微機電系統(tǒng)mems是指采用微加工技術制成的外形輪廓尺寸在毫米量級以下的微型機電裝置。mems技術可以被用于制造多種類型的微型感測器件或傳感器，例如電容式壓力傳感器。mems感測器件或傳感器具有體積小、重量輕、能耗低、響應時間短等諸如優(yōu)點，因此被廣泛應用于各個工業(yè)領域。
2、目前，采用mems技術的電容式壓力傳感器仍然存在一些不足之處。例如，測量結果易于受到外部環(huán)境的非壓力因素(例如濕度)的影響，以及線性度不佳等。
技術實現(xiàn)思路
1、為了至少部分解決上述以及其他可能存在的問題，本公開的實施例提供了一種改進的mems單元以及包括該mems單元的電容式壓力傳感器。
2、根據本公開的第一方面，提供了一種mems單元，其包括：殼體，包括彼此相對的第一壁部和第二壁部、以及位于第一壁部和第二壁部之間的腔體，第一壁部適于在來自外部環(huán)境的壓力下在朝向第二壁部的第一方向上發(fā)生形變；至少一個第一電極板，被布置為從第一壁部延伸到腔體中，并且適于電連接到第一電位；以及至少一個第二電極板，被布置為從第二壁部延伸到腔體中，并且適于電連接到不同于第一電位的第二電位，至少一個第二電極板在第二方向和與第二方向相反的方向中的至少一個方向上與至少一個第一電極板分隔以形成至少一個電容，第二方向與第一方向相交。
3、在本公開的一些實施例中，第二方向垂直于第一方向。
4、在本公開的一些實施例中，至少一個第一電極板和至少一個第二電極板被布置為在第二方向上至少部分重疊。
5、在本公開的一些實施例中，至少一個第一電極板包括多個第一電極板，并且至少一個第二電極板包括多個第二電極板。
6、在本公開的一些實施例中，多個第一電極板和多個第二電極板交錯地布置。
7、在本公開的一些實施例中，mems單元還包括：第一導電端子，被電連接至多個第一電極板；以及第二導電端子，被電連接至多個第二電極板。
8、在本公開的一些實施例中，殼體被布置為將腔體與外部環(huán)境氣密隔離。
9、在本公開的一些實施例中，至少一個第一電極板和至少一個第二電極板中的電極板在第一方向上觀察時具有以下至少一種形狀：條形、圓形、正方形和長方形。
10、根據本公開的第二方面，提供了一種電容式壓力傳感器，其包括：根據第一方面的mems單元。
11、在本公開的一些實施例中，電容式壓力傳感器還包括：處理單元，被配置為基于mems單元的電容值來確定來自外部環(huán)境的壓力。
12、在本公開的一些實施例中，電容式壓力傳感器還包括參考電容，參考電容的電容值等于mems單元在未被施加來自外部環(huán)境的壓力的情況下的電容值。
13、在本公開的一些實施例中，電容式壓力傳感器包括可變電容和至少兩個參考電容，其中可變電容、至少兩個參考電容和mems單元以惠斯通電橋的方式連接。
14、提供
技術實現(xiàn)要素：
部分是為了以簡化的形式來介紹對概念的選擇，它們在下文的具體實施方式中將被進一步描述。發(fā)明內容部分無意標識本公開的關鍵特征或主要特征，也無意限制本公開的范圍。
1.一種微機電系統(tǒng)mems單元(100)，包括：
2.根據權利要求1所述的mems單元(100)，其中所述第二方向(d2)垂直于所述第一方向(d1)。
3.根據權利要求1或2所述的mems單元(100)，其中所述至少一個第一電極板(130-1、130-2、130-3、130-n)和所述至少一個第二電極板(140-1、140-2、140-3、140-n)被布置為在所述第二方向(d2)上至少部分重疊。
4.根據權利要求1或2所述的mems單元(100)，其中所述至少一個第一電極板(130-1、130-2、130-3、130-n)包括多個第一電極板(130-1、130-2、130-3、130-n)，并且所述至少一個第二電極板(140-1、140-2、140-3、140-n)包括多個第二電極板(140-1、140-2、140-3、140-n)。
5.根據權利要求4所述的mems單元(100)，其中所述多個第一電極板(130-1、130-2、130-3、130-n)和所述多個第二電極板(140-1、140-2、140-3、140-n)交錯地布置。
6.根據權利要求4所述的mems單元(100)，還包括：
7.根據權利要求1所述的mems單元(100)，其中所述殼體被布置為將所述腔體(180)與所述外部環(huán)境氣密隔離。
8.根據權利要求1所述的mems單元(100)，其中所述至少一個第一電極板(130-1、130-2、130-3、130-n)和所述至少一個第二電極板(140-1、140-2、140-3、140-n)中的電極板在所述第一方向(d1)上觀察時具有以下至少一種形狀：條形、圓形、正方形和長方形。
9.一種電容式壓力傳感器(10)，包括：
10.根據權利要求9所述的電容式壓力傳感器(10)，還包括：
11.根據權利要求9所述的電容式壓力傳感器(10)，包括參考電容，所述參考電容的電容值等于所述mems單元在未被施加來自所述外部環(huán)境的壓力的情況下的電容值。
12.根據權利要求9所述的電容式壓力傳感器(10)，包括可變電容和至少兩個參考電容，其中所述可變電容、所述至少兩個參考電容和所述mems單元以惠斯通電橋的方式連接。