臥式旋轉(zhuǎn)柱靶的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型主要涉及一種玻璃鍍膜設(shè)備，尤其是一種臥式旋轉(zhuǎn)柱靶。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)鍍膜機(jī)，磁控濺射多使用平面靶和立式旋轉(zhuǎn)柱靶。平面靶的優(yōu)點(diǎn)在于設(shè)計(jì)安裝相對(duì)簡(jiǎn)單，屬于固定式安裝。但其靶材浪費(fèi)較嚴(yán)重，一般平面靶材的利用率僅有30%左右。立式旋轉(zhuǎn)柱靶可極大的提高靶材的利用率，但由于涉及到傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和動(dòng)密封，設(shè)計(jì)安裝相對(duì)復(fù)雜一些。
[0003]對(duì)于中高溫太陽(yáng)能集熱管，由于需要鍍膜的管子長(zhǎng)4m以上，為保證鍍膜質(zhì)量，鍍制所需要的靶長(zhǎng)至少需要5~6m。這樣長(zhǎng)的靶如采用傳統(tǒng)的立式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，受設(shè)備和廠地限制，很難實(shí)現(xiàn)，只有采用臥式。而臥式靶如果不旋轉(zhuǎn)，就類(lèi)似于普通的平面靶，不可避免地造成平面靶材的浪費(fèi)。對(duì)于中高溫太陽(yáng)能集熱管來(lái)說(shuō)，靶材直接關(guān)系到其吸收率發(fā)射率指標(biāo)，是決定最終使用性能的關(guān)鍵因素之一。加之靶材本身價(jià)格較昂貴，因此采用合理的結(jié)構(gòu)，最大限度地提高靶材的利用率，就要采用旋轉(zhuǎn)柱狀靶。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種考慮了靶的利用率、撓度等問(wèn)題，使靶在鍍制過(guò)程中不斷緩慢旋轉(zhuǎn)，既保證了靶的正常濺射，又最大限度的節(jié)約了材料的臥式旋轉(zhuǎn)柱靶。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種臥式旋轉(zhuǎn)靶，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有真空腔體及電機(jī)，所述電機(jī)固定在真空腔體外，電機(jī)的主動(dòng)軸伸入真空腔體，并通過(guò)動(dòng)密封件與真空腔體相連，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有同步軸、靶材、支撐件及磁流體，所述靶材的兩端分別于磁流體相連,所述靶材的中部由支撐件支撐,所述同步軸由主動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，同步軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)靶材轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0006]本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述主動(dòng)軸通過(guò)第一齒輪副帶動(dòng)同步軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0007]本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述同步軸通過(guò)第二齒輪副帶動(dòng)靶材轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0008]本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述支撐件包括支撐架及支撐輪，所述支撐架為V形，支撐輪可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在V形的兩邊。
[0009]本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述所述支撐輪的材質(zhì)為陶瓷。
[0010]本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述磁流體靠進(jìn)靶材端部位置設(shè)置有冷水套。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果具體如下:新型結(jié)構(gòu)的臥式旋轉(zhuǎn)靶，充分考慮了靶的利用率、撓度等問(wèn)題，使靶在鍍制過(guò)程中不斷緩慢旋轉(zhuǎn)，既保證了靶的正常濺射，又最大限度的節(jié)約了材料，整個(gè)過(guò)程穩(wěn)定、快速。
【附圖說(shuō)明】
[0012]附圖1為本實(shí)用新型的臥式旋轉(zhuǎn)靶的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖2為本實(shí)用新型的臥式旋轉(zhuǎn)靶的支撐件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]標(biāo)號(hào)說(shuō)明:1-真空腔體； 2-電機(jī)； 3-主動(dòng)軸； 4-動(dòng)密封件；5-第一齒輪副； 6-第二齒輪副； 7-同步軸； 8-磁流體； 9-靶材；10-支撐件； 101-支撐架； 102-支撐輪。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖詳予說(shuō)明。
[0016]請(qǐng)參閱附圖1，附圖所示本實(shí)用新型提供一種臥式旋轉(zhuǎn)靶，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有真空腔體I及電機(jī)2，所述電機(jī)2固定在真空腔體I外，電機(jī)2的主動(dòng)軸3伸入真空腔體1，并通過(guò)動(dòng)密封件4與真空腔體I相連，所述真空腔體I內(nèi)設(shè)置有同步軸7、靶材9、支撐件10及磁流體8，所述靶材9的兩端分別于磁流體相連，所述靶材9的中部由支撐件10支撐，所述同步軸7由主動(dòng)軸3帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，同步軸7的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)靶材9轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0017]正常使用時(shí)，首先啟動(dòng)電機(jī)2，電機(jī)2在本實(shí)施例中不做限制，可以是步進(jìn)電機(jī)、伺服電機(jī)等，電機(jī)2在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)主動(dòng)軸3轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)軸與主動(dòng)軸3之間通過(guò)聯(lián)軸器相連，其是絕緣連接，主動(dòng)軸3通過(guò)密封件與真空腔體I的側(cè)壁相連，保證了主動(dòng)軸3在轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中也不會(huì)有空氣從主動(dòng)軸3與側(cè)壁的連接處進(jìn)入真空腔體I內(nèi)。
[0018]主動(dòng)軸3通過(guò)第一齒輪副5帶動(dòng)同步軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，第一齒輪副5包括第一主動(dòng)輪及第一從動(dòng)輪，所述第一主動(dòng)輪與第一從動(dòng)輪嚙合，第一主動(dòng)輪固定在主動(dòng)軸3上，第一從動(dòng)輪固定在同步軸7上，具體的，通過(guò)鍵連接實(shí)現(xiàn)兩者的固定，當(dāng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)第一主動(dòng)輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)第一從動(dòng)輪帶動(dòng)同步軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)軸3與第一齒輪副5保持絕緣。
[0019]所述同步軸7通過(guò)第二齒輪副6帶動(dòng)靶材9轉(zhuǎn)動(dòng)，第二齒輪副6包括兩對(duì)第二主動(dòng)齒輪及第二從動(dòng)齒輪，具體的，第二主動(dòng)齒輪設(shè)置在同步軸7的兩端,第二從動(dòng)齒輪設(shè)置在靶材9的兩端，當(dāng)電機(jī)2帶動(dòng)同步軸7轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)即會(huì)帶動(dòng)第二主動(dòng)齒輪的轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)靶材9的轉(zhuǎn)動(dòng)，靶材9的長(zhǎng)度在5-6m，旋轉(zhuǎn)速度一般控制為0.25轉(zhuǎn)/分?2轉(zhuǎn)/分，通過(guò)將第二齒輪副6將主動(dòng)力同步傳動(dòng)到靶的兩端，保證兩端同步。
[0020]由于靶材9的長(zhǎng)度較長(zhǎng)，為了解決長(zhǎng)靶的撓度問(wèn)題，本實(shí)施例中設(shè)置有支撐件10，所述支撐件10包括支撐架101及支撐輪102，所述支撐架101為V形，支撐輪102可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在V形支撐架的兩邊，這種結(jié)構(gòu)是因?yàn)橹蔚哪遣糠职胁?也需要濺射，所以支撐件10必須是開(kāi)放式的，不能遮擋靶材9的濺射部分。
[0021]又因靶本身是帶電的，支撐件10需要與其絕緣，本設(shè)計(jì)中在靶材9的下部采用一對(duì)耐高溫陶瓷滾珠，可隨靶材9的旋轉(zhuǎn)一起旋轉(zhuǎn)，減少摩擦的同時(shí)，也不影響靶材9濺射，當(dāng)然，其他實(shí)施例中，所述支撐輪也可以是橡膠輪等，同樣能實(shí)現(xiàn)靶材的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0022]靶材9的兩端采用磁流體8密封，磁流體8采用的是真空動(dòng)密封(磁流體8的支撐通過(guò)陶瓷件與真空腔體I絕緣)，磁流體8密封技術(shù)是在磁性流體的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的，當(dāng)磁流體8注入磁場(chǎng)的間隙時(shí)，它可以充滿(mǎn)整個(gè)間隙，形成一種“液體的O型密封圈”。磁流體8密封裝置的功能是把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞到密封容器內(nèi)，磁流體8為較好的真空動(dòng)密封件4，其漏率可達(dá)lX10-10Pa*L/s，無(wú)磨損，長(zhǎng)壽命，極限真空度10_6Pa，只是其工作溫度不能太高。一般情況下為保證磁流體8正常工作，溫度不能超過(guò)80°C。而靶由于進(jìn)行磁控濺射，瞬間溫度可達(dá)1000°C以上，因此必須對(duì)磁流體8進(jìn)行冷卻，本實(shí)施例中，在磁流體8靠近靶材9端部的位置加冷水套，對(duì)磁流體8進(jìn)行冷卻。
[0023]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，其特征在于，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有真空腔體及電機(jī)，所述電機(jī)固定在真空腔體外，電機(jī)的主動(dòng)軸伸入真空腔體，并通過(guò)動(dòng)密封件與真空腔體相連，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有同步軸、靶材、支撐件及磁流體，所述靶材的兩端分別于磁流體相連，所述靶材的中部由支撐件支撐，所述同步軸由主動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，同步軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)靶材轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，其特征在于，所述主動(dòng)軸通過(guò)第一齒輪副帶動(dòng)同步軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，其特征在于，所述同步軸通過(guò)第二齒輪副帶動(dòng)革G材轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，其特征在于，所述支撐件包括支撐架及支撐輪，所述支撐架為V形，支撐輪可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在V形的兩邊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，其特征在于，所述所述支撐輪的材質(zhì)為陶瓷。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，其特征在于，所述磁流體靠近靶材端部位置設(shè)置有冷水套。
【專(zhuān)利摘要】一種臥式旋轉(zhuǎn)柱靶，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有真空腔體及電機(jī)，所述電機(jī)固定在真空腔體外，電機(jī)的主動(dòng)軸伸入真空腔體，并通過(guò)動(dòng)密封件與真空腔體相連，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有同步軸、靶材、支撐件及磁流體，所述靶材的兩端分別于磁流體相連，所述靶材的中部由支撐件支撐，所述同步軸由主動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，同步軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)靶材轉(zhuǎn)動(dòng)，新型結(jié)構(gòu)的臥式旋轉(zhuǎn)靶，充分考慮了靶的利用率、撓度等問(wèn)題，使靶在鍍制過(guò)程中不斷緩慢旋轉(zhuǎn)，既保證了靶的正常濺射，又最大限度的節(jié)約了材料，整個(gè)過(guò)程穩(wěn)定、快速。
【IPC分類(lèi)】C23C14-35
【公開(kāi)號(hào)】CN204385287
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420653212
【發(fā)明人】王靜, 朱磊, 楊興, 張磊, 安德吉, 曹明剛
【申請(qǐng)人】滄州天瑞星光熱技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年11月5日